“極紫外光刻”造句，怎麼用極紫外光刻造句

本文探討了一種可應用於極紫外光刻光學系統的離軸五反*鏡系統，它在光學質量、自由工作距離方面滿足了極紫外光刻商業化的要求。

目前，基於極紫外多層膜的反*式光學元件，已經全面進入了以極紫外光刻與極紫外天文觀測為核心的實用化階段。

由於材料的吸收和低折*率問題，極紫外光刻所採用的光學系統發展趨勢是全反*型。